中国电科48所第三代半导体装备项目获国家科技部立项
近日,中国电科48所第三代半导体装备研发取得重大突破,牵头申报的“大尺寸超高真空分子束外延技术与装备”项目,获得国家科技部“高性能制造技术与重大装备”重点专项立项。分子束外延(MBE)装备是先进材料与芯片制造的核心“母机”。48所立足国家所需、行业所趋、电科所能,聚焦离子束、分子束、电子束“三束”技术,不断推动半导体装备核心技术研发与产业化,相继开发了单片4吋、6吋机型并实现应用,为研制大尺寸MB
📅 2022-12-14
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